第514章 准备起飞

要是普通人，要把一条芯片代工产线上的这些设备都自己想办法凑齐，那基本上没什么可能性。

但是电子学院这些老教授出马，搞芯片的门生故旧满天下，加上又是内行，本身一个个就像狂热的电脑DIYer一样在教学时间外就忙着奔波这些事儿，所以花了几个月的时间就把这事做成了。

锦城任重办公室。

陈叔德和孙山河满脸振奋，陈叔德教授把完整的产线设备清单递给了任重，有些兴奋的说道：“任先生，我们的设备基本上凑齐了，这是我们这条90nm制程工艺加工设备清单，里面这些设备的价格和交付时间都约定好。”

说完，他同孙山河两人用火热的眼神盯着任重。

毕竟两人前前后后跑了几个月，这个事情终于要尘埃落定。现在陈叔德再也没有当初一副怀疑的样子，看着任重如同看财神一样。

这回主要是他带着任重跑了几个月，在东大天南海北芯片代工企业去买二手设备，甚至人都跑出国去，在南洋、小鬼子、棒子这些地方都看了些二手货，受到经济冲击的不仅仅是东大内地的代工业底层，其余地区的中小芯片代工商日子更不好过。

这些得益于东大的自主化进程，国内的中低端芯片代工基本上都要自主解决了，国外这些中小型代工企业就更难拿到定单了，好多设备都在标着价格在出售，甚至比国内的都要便宜很多。

任重也乐意跟着陈叔德他们奔走在这个行业的底层，因为这样一来让任重对于半导体行业总算有了几分认识，也建立了自己的一些人脉关系，不至于要找什么东西他都完全没有头绪。

经过这几个月的奔走后，任重基本上搞清楚了国内的芯片代工分布，哪些代工什么类型的芯片最有性价比，事实上做功率半导体和做内存芯片那是非常不一样的。

这一路上，陈叔德终于见识到了任重的豪放一面，在陈叔德和孙山河他们看好了设备后，任重基本上毫不犹豫就下了定金确认。

倒不是任重付不出全款，而是这个东西没有送到锦城这边，付全款万一被人坑就白瞎了。

经过了几个月的时间四处奔波，终于把这条厂线的核心关键性设备都确认下来，剩下的东西都是常规设备在国内定制就可以了，这样，全套产线的设备清单七七八八算下来，陈叔德他们重新凑的这条生产线，同那条报废拍卖的产线也没少花多少。

任重接过清单草草看了几眼最终价格，现在是足足8个亿的总价。

“我们现在是整条产线都配齐了吗？”任重开口问道。

“都齐了，如果把这些东西组合建成一条生产线调试合适，满负荷下一个月加工生产一万片8英寸晶圆都没有问题，虽然从产能方面比起你起初准备买的那条生产线要弱不少，毕竟关键设备少了一些，但是加工精度方面我们这条产线又要先进一代了，我们的制程工艺最高已经从0.13微米升级到了90nm，这是一个巨大的进步。别看这一点进步，可生产的芯片至少能领先2-3代呢。”

任重点了点头，虽然说这套产线比起那条破产报废产品线来说一点也没有便宜下来，好消息是，这套由着陈叔德、孙山河他们这些教授DIY出来的产品线，虽然都是二手货，但是成色还行，关键是升级潜力比原来那一套要强不少，辅助设备性能最高能支撑光刻机换代后升级到65nm。

这又将是一个巨大的进步，对于实验室来说，他们要有这样的制程，哪怕是睡着了都要笑醒，这不仅仅在国内大学中是头一份，哪怕是全球高校排起来，也是排名前列。

当然现在这些教授都非常鸡贼，对这个升级功能绝口不提，只是说这样的设备匹配Z芯淘汰下来的那台90nm光刻机更合适，比从Z芯购买配套要更划算，作为半导体方面的文盲，任重对于这些弯弯绕绕自然不清楚。

在他看来，能干90nm的活儿就相当不错了。

甚至作为原型给亮剑世界参考，现在这套设备都大大超纲了，他要求的是教授们对这些设备都要非常熟悉。

“你们能不能将那台光刻机彻底翻修一遍，把工控软件破解了换成我们自己写的工控软件来控制？”任重指着Z芯报废下来的那台90nm光刻机说道，这是2005年时候的产品了，已经在芯片代工界算老爷爷级别。

“完全破解工控软件源代码可能比较麻烦，毕竟这些工控软件都是加密了，没法反编译回去，我们倒是可以将这些工控软件主机板重新复制，把软件移植拷贝出来放到新主控板上面直接替换。

甚至这部分代码我们也可以自己写一个全新的光刻机工控软件，只是花费比较大些，另外这台设备的机械部分和光源部分磨损严重，我们也可以考虑重新研制替换他们，把这台故障率高的光刻机恢复到良好状态。”孙山河教授跟着任重跑了一段时间后，知道他的想法。

“但是我们没法完全复制成功这台光刻机，实现所有零部件的替换，那套物镜系统我想现在国内光学所都还做不到那么高的精度，倒是光源部分我们现在基本上可以实现替代了。”

“如果按照你们的估计，现在我们还有多少零部件是没法替代的？”任重一听这个，立马就不困了。

“如果按照国内现在的水平，其实理论上我们是可以100%替代了，当然大概还有10%左右是没法完全替代，只是近似替代，实现90nm光刻机的完全国产化，但是那是另外的设计，我们没法用国产的东西直接替代这台的零部件，毕竟这里面有些东西涉及到专利权保护，我们没法做得太相似了。但是理论上我们可以生产同类的大部分零部件进行替代了。”孙山河显然对于这台光刻机非常熟悉，“我们的魔都微电子自己生产90nm光刻机已经量产，28nm接近实现量产的边缘，但是在光源和物镜系统方面仍然是短板。”

“陈教授，孙教授，这台光刻机如果要做研究性替代，我这边会完全支撑你们的研究工作，每一个零部件研究量产工艺需要投资多少，我这边全额资助！”任重听到孙山河说完，眼睛一亮。

要是这些教授们把这台机器的零部件重新都生产一遍，那不等于就从头研制了一台新的？四舍五入岂不是等于为亮剑世界直线跨越了好几代奔小康了？

要知道90nm虽然放在主世界非常老旧，但是性能对于亮剑世界来说，这完全不亚于两弹一星的存在，等于是跳过前面386到奔腾3整整六代CPU，直接跨越到加工奔腾4或者ARM9/ARM11的水平上！如果亮剑世界能把这条生产线的设备复制过去，那可谓是火箭式的跳跃。

要知道奔腾4和ARM9/ARM11这些CPU，可是已经达到了互联网多媒体应用和手机准3G的水平芯片了。

要是这样的话，亮剑世界十年内将这款光刻机及配套设备开发出来，在亮剑世界的70年代就可以进入互联网时代和移动互连早期！这对于亮剑世界的其它国家来说，已经不是遥遥领先，而是断崖式科技进步了。

对于航空业来说，这套产线如果发挥出来，其加工的CPU已经超越了当初F35初代机载计算机CPU性能水平，要知道F35早期机载计算机采用的PowerPCG4，采用的也不过是0.13微米的制程工艺。

而早期的90nm制程工艺芯片代工厂建设成本高达30亿美刀以上，其中大部分的成本都是在这些设备上面！

现在任重通过收集破烂货缝缝补补花8个亿的设备费就集齐了90nm简单生产线，虽然说产能方面比较孱弱了一些，但是真能加工出来PowerPCG4和PowerPCG5这样的芯片，直接就把航空工控计算机的水平提升到主世界21世纪初期的水平，对于航空电子和船电电子、航天卫星等是一步到位了。

如果孙教授他们真能把那台二手光刻机复制出来，那么距离亮剑世界复制这台机器也相差不远了。

要知道在亮剑世界，难度极高的光学物镜系统开发可是有大名鼎鼎的蔡司提供协助加工，只要将规格说明搞清楚，相信他们能想方设法完成这个东西，比起主世界的东大方面更加方便。

加上这台光刻机的工控系统如果可以复制在新主机板上，等于就有无限复制的可能性，虽然说修改不了这个程序，但是对于亮剑世界来说不存在盗版不盗版的问题，无限制复制这套系统完全没有任何的障碍，任重只需要带着主机板过去直接用也可以，毕竟几百块的带货不是什么大问题。

听了任重的话，陈叔德教授眼睛一亮，他的专业是搞半导体设备研究方面，任重的课题正好是他负责的方向，虽然说之前没有把这个东西纳入到研究课题来，那是因为没有钱的缘故，项目组都要开发更加急迫的东西去了。

但是如果任重这边肯出研究经费，他陈叔德就不仅仅想复制这台90nm的光刻机了，还想着自己把这台90nm光刻机进一步升级到65nm，从技术来说，90nm到65nm的演进并不是跳跃性的，而是渐进式，意思就是光刻机中大部分零部件都是通用的，可能就是工控和光学物镜系统等少部分关键子系统存在差异。

而这些技术的研究突破，65nm工艺流程在国内属于还有相当大的存量，不管是替代还是用于维修翻新来说很有研究的价值，更重要这是干式光刻机，如果再在这个基础上实现浸润式，那就能一举突破到28nm的水平，经过多次照射可以量产14nm甚至10nm芯片，这可是在国内都是非常先进的制程技术了。

“任先生，要是这样说的话，我们倒是不妨将这台光刻机的替代性研究作为接下来我们的一个课题来开展，90nm光刻机国内的产品线不少，机台就更多了，保守估计是数以百台技术，如果突破了这些零部件的制造平替，我们未来也可以避免被别人卡脖子了。对于国内的90nm光刻机进行自主维护。”陈叔德有些激动的说道，他没有敢说直接升级到65nm的事情，毕竟这个花钱更多。

“我这边没问题，这点研究还是可以资助的。”任重点了点头道，“其实我希望你们把这些关键性设备都做平替研究，我不知道国内这方面是怎么一个情况，反正从外部说的情况来看，外人对我们的这些设备工控机其实是可以通过某种渠道进行锁定的。”

任重强调的自主可控，正是半导体人心中的痛。

众所周知，顶级的DUV开机都要受到监督，让产线加工的东西对某些人透明，从而监控着这些代工企业的生产行为。

“任先生，我们一直在做这方面的工作，原来我们的进展相对比较慢，是因为我们受制于方方面面的约束，版权方面的，资金方面的，人才方面的制约都有，如果我们现在只是研究做技术积累，不急着实现商业方面的回报，那么我们完全可以对这套设备进行替代性研究工作。”

听到任重愿意打钱，陈叔德激动的说道。

任重的话算是直捅在了他肺管子上面了。

“是的，任先生，如果这方面的研究有充沛资金，我们最多花几年时间就能把这套生产线设备吃透和平替。”旁边孙山河也激动起来。

他们这些研究者，对于这些芯片业最核心技术和设备研究当然非常感兴趣，因为出成果容易啊。

虽然说这些在对比ASML设备来说不值得一提，但是在国内仍然有大量的存在，我们在光刻机这块虽然说有了突破，经过十多年持续投入，最强的已经达到了7nm水平之上，但是我们自主跨出这个制程并不久。

陈叔德他们虽然也参与了部分研究，但是并没有搞过整机，大的成果都是别人的。甚至干出来了一个院士，陈叔德和孙山河他们虽然也是这个行业的资深专家，但是距离院士来说还有点远。

对于他们这些人来说，如果可以自由选择研究方向，他们当然更愿意选择光刻机的主机来进行研究。

沿着当前这套设备研究演进到了65nm对于他们来说不是特别难的事情，现在国内的配套也能支撑下来了。

重要的是在吃透这台光刻机主机后，后面更换成为浸润式技术路线，那么从45nm、35nm、28nm这些技术节点演化下去，毕竟光刻机技术发展到现在，相关浸润式原理和基本的技术工艺这些多多少少扩散出来了不少，如果陈教授和孙教授他们在有充分投入的情况下，研究实现用水来替代空气这个关键技术后，就能实现14nm/10nm这两个关键性的技术节点，站在国内制程研究的前沿。

想想这些都他们都很兴奋。

(本章完)